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簡要描述：恒溫恒濕控制機(jī)在基板曝光前，能有效維持其表面溫度的均一性。經(jīng)過此設(shè)備處理后的空氣，溫度控制精度可達(dá)目標(biāo)值±0.01℃，充分滿足制程環(huán)境對溫控的要求。該設(shè)備的應(yīng)用，不僅確保了產(chǎn)線環(huán)境的穩(wěn)定，更為產(chǎn)品的高良率提供了堅實保障。
產(chǎn)品型號：- 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
- 更新時間：2024-11-15
- 訪 問 量：347
詳情介紹
| 品牌 | proteco/普泰克 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,制藥/生物制藥,綜合 |
【設(shè)備特點(diǎn)】
1、精確溫濕度調(diào)控：確保曝光機(jī)、顯影/ 涂布設(shè)備等制程良率
2、定制化風(fēng)量設(shè)計：根據(jù)客戶的具體需求，定制風(fēng)量，送風(fēng)單元結(jié)構(gòu)均勻布置，確保空氣流通的均勻性，進(jìn)一步提升制程質(zhì)量。
3、超準(zhǔn)溫度控制：溫度控制精度高達(dá)±0.01℃，遠(yuǎn)超行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，為產(chǎn)線環(huán)境提供了穩(wěn)定性，從而確保了產(chǎn)品的優(yōu)良率。
【產(chǎn)品應(yīng)用】
1、溫度控制精度：±0.1℃~±0.01℃
2、濕度控制精度：±2%RH~±1%RH
3、廣泛適用領(lǐng)域：該設(shè)備廣泛應(yīng)用于面板廠、晶圓廠、封裝測試廠等精密溫濕度控制領(lǐng)域，助力企業(yè)提升產(chǎn)品質(zhì)量，確保生產(chǎn)過程的穩(wěn)定與高效。
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